Precizna integracija vezivača za opremu za proizvodnju poluprovodnika u Japanu

Pregled projekta

Jedan vodeći japanski proizvođač poluprovodničke opreme suočen je s kritičnim izazovima pouzdanosti tijekom montaže naprednih alata za proizvodnju oblaka. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, "proizvodnja" znači proizvodnja proizvoda koji se upotrebljava za proizvodnju proizvoda koji se upotrebljavaju u proizvodnji proizvoda koji se upotrebljavaju za proizvodnju proizvoda koji se upotrebljavaju za proizvodnju proizvoda koji se upotrebljavaju za proizvodnju proizvoda koji Standardni čvrstici od ugljikovog čelika uveo magnetne smetnje, otpad čestica i galvanske korozije rizika kada se udružuju s aluminijum i keramičke komponente. Naša suradnja obuhvaćala je inženjering, kvalifikacije i isporuku potpuno integrisanog paketa čvrstila na 17 platformi alata obuhvaćajući litografijske poravnatelje, komore za graviranje i metrološke stanice s više od 42.000 prilagođenih čvrstila koji su

Analiza izazova

U tom slučaju, u skladu s člankom 3. stavkom 1. magnetno zagađenje u skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, za sve proizvode koji se upotrebljavaju u proizvodnji električne energije, za koje se primjenjuje točka (b) ovog članka, za koje se primjenjuje točka (c) ovog članka, za koje se primjenjuje točka (d) ovog članka, za koje se Drugo, proizvodnja čestica u slučaju da je proizvod bio u stanju da se koristi u skladu s člankom 6. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, potrebno je utvrditi da je proizvod bio u stanju da se koristi u skladu s člankom 6. točkom (a) ovog članka. Treće, neusklađenost materijala u skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 726/2009 Komisija je odlučila da se u skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (b) Uredbe (EZ) br. 765/2009 primjenjuje Uredba (EZ) br. Postojeći dobavljači nude generički čistilište hardver bez potpune sledljivosti, validacije površinske završetke ili ne-magnetne certifikacije što ih čini neprikladnim za okruženja klase 1.

Rješenje

Isporučili smo namjerno dizajnirani ekosistem vezivača prilagođen elektronička industrija i posebno validirani za poluvodička oprema - Što? Rješenje se sastojalo od dvije komplementarne obitelji materijala: nehrđajućeg čelika 316LVM s ASTM F138-certifikatom (za nemagnetske performanse i ultra nisko ispuštanje plinova) i legure titana klase 5 (Ti-6Al-4V ELI) za težinu kritične, visoke Sva čvrstina su podvrgnuta elektropoliranju do Ra ≤ 0,2 μm, pasivaciji prema ASTM A967 i 100% magnetnom probanju propusnosti (< 1,005 μr). Geometrija niti optimizirana je za niski obrtni moment i performanse protiv žuljanja korištenjem vlasničkog premaza lubrikantnim filmom (bez MoS2, usklađen s VOC-om). U svakom se seriji nalaze izvješća o ispitivanju materijala (MTR), podaci o otpadu čestica (po simulaciji protoka zraka klase 1 ISO 14644-1) i pakiranje u čistih prostorija u statički disperzivnoj polivazi s niskim udjelom nitrogena.

Proces provedbe

Radimo pod strogom NDA i JIS Q 9001 sukladnom kontrolom promjena, naš inženjerski tim je šest tjedana bio u suradnji s klantovom grupom za mehanički dizajn u Tsukubau kako bi mapirao interfejse za vezivanje u 23 podsustava. Zamjenili smo 112 starih brojeva dijelova s 49 optimiziranih SKU-ova smanjujući složenost zaliha uz poboljšanje razmjenjivosti. U skladu s člankom 3. stavkom 2. stavkom 2. ovog članka, za sve proizvode koji su bili namijenjeni za proizvodnju, za proizvodnju i za proizvodnju proizvoda, primjenjuje se posebna pravila za proizvodnju. Sva čvrstina isporučena s serijalnom sledljivom (partija + broj topline), omogućavajući analizu uzroka u stvarnom vremenu tijekom istraživanja kvarova na terenu. Validacija uključuje 500 ciklusa testiranja toplinskim udarima (−40 °C do +125 °C), provjeru kompatibilnosti ultrazvučnog čišćenja i procjenu adhezije čestica na temelju SEM-a.

Rezultati projekta

Integracija je smanjila vrijeme zastoja vezano za vezivače na alatku za 68% u razdoblju od 12 mjeseci. Broj čestica u susjednim zonama čistih soba smanjen je za 92% tijekom rutinske održavanja provjereno kontinuiranim praćenjem čestica u zraku (obim 0,1 μm). Izkrivenje magnetnog polja u blizini elektron-optičkih stupova ostalo je ispod 0,05 Gauss u granicama specifikacije. Prosječno vrijeme između kvarova alata (MTBF) povećano je s 1.240 na 2.890 sati. Važno je da su sva čvrstila ispunjena oprema kompatibilna s čistim prostorom u skladu s člankom 3. stavkom 1. Od tada je klijent standardizirao naše s druge vrijednosti od 8205 do 8206 u skladu s člankom 3. stavkom 2.

Odziv klijenata

to nije bila samo zamjena komponenti to je bila nadogradnja sustava materijala, izjavio je viši direktor strojarstva klijenta. Kombinacija certificirane nemagnetne performanse, dokumentirane kontrole čestica i besprekorne integracije ubrzala je naš vremenski okvir za kvalifikacije za četiri mjeseca. Njihov paket vezivača je sada temelj naše strategije pouzdanosti čiste sobe.